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創発型システム研究部門（2019）

環境計測のためのマルチモーダルガスセンシング技術の創出

Development of multimodal gas sensing technology for environment measurement

1-6　エレクトロニクス先端融合研究所　野田　俊彦

本学LSI工場の装置群を活用して，ガス透過特性をコントロールする素子を集積化したマルチモーダルガスセンサを開発します。従来はガス種ごとにセンサが必要であったものを，単一センサ素子による多数のガス種の測定を可能とし，環境計測分野に展開します。