創発型システム研究部門（2023）

OSG-TUT 連携先端ツールコーティングラボラトリー第3期

Advanced tool Coating Technological Laboratory, OSG-TUT collaboration (ACTO), 3rd stage

電気・電子情報工学系　滝川　浩史

切削工具や金型等の表面へ機能性膜をコーティングするPVD（物理的蒸着法）やCVD（化学的蒸着法）の進化型装置やレシピの開発を行い、従来の性能を凌駕する機能性膜とそのコーティングシステムおよびノウハウを産学共同で研究開発し、機能性保護膜をコーティングした製品の実用化を図る。図は，進化型PVD装置蒸発源の動作の様子。